Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik [Hardcover]

In diesem Buch werden zun?chst die verschiedenen Typen von Plasmen ausf?hrlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterst?tzte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trocken?tzen, mit denen heute Oberfl?chen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielf?ltige Weise modifiziert werden. Besondere Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen, aber auch der Ionenstrahlmethode, gewidmet. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text eingestreut. F?r die Neuauflage wurde das Buch vollst?ndig neu bearbeitet und aktualisiert. Hinzu kamen neue Kapitel ?ber Plasmadiagnostik und hochdichte sowie induktiv-gekoppelte Plasmen.

In diesem Buch werden zun?chst die verschiedenen Typen von Plasmen ausf?hrlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterst?tzte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trocken?tzen, mit denen heute Oberfl?chen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielf?ltige Weise modifiziert werden. Besondere Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen, aber auch der Ionenstrahlmethode, gewidmet. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text eingestreut. F?r die Neuauflage wurde das Buch vollst?ndig neu bearbeitet und aktualisiert. Hinzu kamen neue Kapitel ?ber Plasmadiagnostik und hochdichte sowie induktiv-gekoppel£Ý