Optimierung von HF-Gasentladungen fr schnell lngsgestrmte CO2-Laser [Paperback]

Symbole und Abk?rzungen.- 1 Einleitung.- 1.1 Historischer ?berblick der CO2-Laserentwicklung.- 1.2 Zielsetzung und Gliederung der Arbeit.- 2 Die HF-Gasentladung.- 2.1 Allgemeine Charakteristiken.- 2.2 Modell der HF-Entladung.- 2.3 Einkopplung der HF-Leistung.- 2.3.1 Dielektrische Elektroden.- 2.3.2 Entladungsinstabilit?ten.- 3 Anpassung des HF-Generators an die Entladung.- 3.1 Der HF-Generator.- 3.2 Kalibrierung der HF-Generatorleistung.- 3.3 Das Anpa?netzwerk.- 3.4 Erstellen der elektrischen Schaltbilder.- 3.4.1 Schaltbild des II-Anpa?netzwerks.- 3.4.2 Schaltbild des ungez?ndeten Lasers.- 3.4.3 Schaltbild des gez?ndeten Lasers.- 3.5 Vergleich der gemessenen und gerechneten Impedanzkurven.- 3.6 HF-Verhalten von Anpa?netzwerk und Laser.- 3.7 ?berblick der wichtigsten Ergebnisse.- 4 Messung des Plasmawiderstands.- 4.1 Rechnerische Simulation der Impedanz im Anpa?fall.- 4.2 Messung mit dem Leitungsreflektometer.- 4.3 Strommessungen.- 4.4 Strommessung bei segmentierten Elektroden.- 4.5 ?berblick der wichtigsten Ergebnisse.- 5 Optimierungsparameter.- 5.1 Geometrische Parameter.- 5.1.1 Rohrgeometrie.- 5.1.2 Elektrodengeometrie.- 5.2 Entladungsphysikalische Parameter.- 5.3 Ermittlung elektrophysikalischer Gr??en aus Impedanz und HF-Leistung.- 5.4 Fluidmechanische Parameter.- 5.5 Messung von Temperatur, Druck und Str?mungsgeschwindigkeit.- 6 Untersuchung der Entladungshomogenit?t.- 6.1 Experimenteller Aufbau.- 6.2 Versuchsparameter.- 6.3 Die Rohrl?nge und die HF-Zuf?hrung.- 6.4 Kurzes Rohr mit asymmetrischer HF-Zuf?hrung.- 6.5 Kurzes Rohr mit Symmetrisierspule.- 6.6 Visuelle Untersuchung der Stabilit?tsgrenzen.- 6.6.1 Vorbetrachtung.- 6.6.2 Ph?nomenologie der Entladungsformen.- 6.6.3 Einflu?gr??en der Filamentbildung.- 6.7 Skalierung der Gasentladung mittels Impedanzmessungen.- 6.8 Ergebnisse der Messungen.- 6.9 ?berblick der wichtigsten Ergebnisse.- 7 Interferometrische Untersuchungen.- 7.1 Vorbetrachtungen zur optischen Deformation.- 7.2 Versuchsparameter.- 7.3 Me?aufbau lc"