Mikrosystemtechnik auf Silizium [Paperback]

Die Mikrosystemtechnik wird in ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Mikromechanik von der Siliziumtechnologie beherrscht. Materialeigen? schaften und insbesondere die verbreitete, hoch entwickelte Proze?? technik haben andere Materialien weitgehend verdr?ngt. Dagegen ist das Halbleitermaterial Silizium f?r Anwendungen der Integrierten Optik bislang wegen seiner ung?nstigen optischen Eigen? schaften nur unzureichend beachtet worden. Erst die Mikrosystemtechnik hat zur Entwicklung einer geeigneten Integrationstechnik gef?hrt, um die Mechatronik um integriert-optische Komponenten zu erweitern. Ziel dieses Buches ist es, Wege zur systemgerechten Einbindung der Integrierten Optik in die mikroelektronische Proze?f?hrung aufzuzeigen und die Eignung der Technologie zur monolithischen Integration von optischen, mikromechanischen und mikroelektronischen Bauelementen auf einem Siliziumchip anhand real gefertigter Muster zu demonstrieren. Die Basis der monolithischen Systemintegration auf Silizium wird ausgehend von der mikroelektronischen Proze?technik diskutiert. Auf der Grundlage der Halbleitertechnologie zur Schaltungsintegration aufbauend werden m?gliche Bauformen der Wellenleiter und der mikro? mechanischen Komponenten zum Einbau in den CMOS-Proze? verglichen. Vor-und Nachteile der Schnittstellen und der verschiedenen Integrationstechniken werden angesprochen und anhand realer Muster vergleichend diskutiert. Zur Abrundung des Themas werden einige Komponenten zur Verbesserung der mikroelektronischen Schaltungen im monolithischen Integrationsproze? angesprochen, um eine schnelle, pr?zise Signalverarbeitung in den MOS-Schaltungen zu erm?glichen. F?r die umfangreichen Arbeiten, die mit der Erstellung dieses Buches verbunden waren, m?chte ich mich bei Herrn Prof. K. Goser, Herrn Prof. K. Schumacher, den Herren Doktoren S. Adams, T. Harms, C. Heite, K.Die Mikrosystemtechnik wird in ihren Teilgebieten Mikroelektronik und Mikromechanik von der Siliziumtechnologie beherrscht. lC%